1. Identity statement | |
Reference Type | Report |
Site | mtc-m21c.sid.inpe.br |
Holder Code | isadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S |
Identifier | 8JMKD3MGP3W34R/42SAEHP |
Repository | sid.inpe.br/mtc-m21c/2020/07.17.14.50 |
Last Update | 2020:07.17.14.50.56 (UTC) simone |
Metadata Repository | sid.inpe.br/mtc-m21c/2020/07.17.14.50.56 |
Metadata Last Update | 2022:07.08.21.10.53 (UTC) administrator |
Citation Key | SilvaBalFerBelAma:2013:CaÓpMo |
Title | Características ópticas e morfológicas do silício poroso produzido por processo de anodização em soluções HF-Acetonitrila e HF-Etanol |
Year | 2013 |
Access Date | 2024, May 13 |
Type | RDP |
Number of Pages | 44 |
Number of Files | 1 |
Size | 1576 KiB |
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2. Context | |
Author | 1 Silva, Belchior Elton Lima da 2 Baldan, Maurício Ribeiro 3 Ferreira, Neidenêi Gomes 4 Beloto, Antônio Fernando 5 Amaral Júnior, Miguel Angelo |
Resume Identifier | 1 2 8JMKD3MGP5W/3C9JHTA 3 8JMKD3MGP5W/3C9JHU3 4 8JMKD3MGP5W/3C9JGJ8 |
Group | 1 2 LAS-CTE-INPE-MCTI-GOV-BR 3 LAS-CTE-INPE-MCTI-GOV-BR 4 LAS-CTE-INPE-MCTI-GOV-BR 5 LAS-CTE-INPE-MCTI-GOV-BR |
Affiliation | 1 Universidade Federal de São Paulo (UNIFESP) 2 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 3 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 4 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 5 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) |
Author e-Mail Address | 1 belchior.elton@unifesp.br 2 baldan@las.inpe.br |
Institution | Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais |
City | São José dos Campos |
History (UTC) | 2020-07-17 14:50:56 :: simone -> administrator :: 2022-07-08 21:10:53 :: administrator -> simone :: 2013 |
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3. Content and structure | |
Is the master or a copy? | is the master |
Content Stage | completed |
Transferable | 1 |
Keywords | silício poroso anodização |
Abstract | Esse trabalho tem como objetivo sintetizar amostras de Silício Poroso (PS) a partir da anodização do silício monocristalino (Si) e realizar um estudo sistemático da ação de alguns parâmetros experimentais sobre as características ópticas e morfológicas do PS. Amostras de PS podem ser obtidas pelo processo de anodização em lâminas de Silício, todavia, suas características finais podem ser influenciadas por diversos parâmetros durante o processo de anodização, dentre eles encontra-se a densidade de corrente e o tempo de anodização. Neste trabalho foram sintetizadas amostras sob diferentes valores de tempo (5, 10, 15, 20 e 30 min.) e de corrente (5, 10, 15, 20, 25, 30, 35 mA), mantendo-se os outros parâmetros experimentais constantes durante o ataque (tipo e resistividade da amostra de Si, luminosidade sob o substrato e concentração do eletrólito). Na anodização eletroquímica o substrato de Si é o eletrodo de trabalho, que é polarizado anodicamente. Neste caso utilizou-se um contra eletrodo de Platina, pois essa é inerte ao HF. Esses eletrodos foram inseridos em uma cuba eletrolítica também inerte ao eletrólito. As amostras foram obtidas a partir de lâminas de Si tipo-n, com orientação cristalográfica <100> e resistividade 1-20 Ω.cm. As características das amostras foram analisadas a partir da Microscopia Eletrônica de Varredura (morfologia superficial) e da perfilometria óptica (rugosidade superficial das amostras, profundidade dos poros e área superficial total). Os resultados indicaram que o tempo de anodização afeta significativamente as características finais do poro, provocando uma mudança em sua morfologia superficial em função do tempo de anodização. Amostras submetidas a elevados tempos de anodização apresentaram um ataque mais efetivo, apresentando poros mais homogêneos, com maior profundidade e em maior número. De maneira semelhante, a densidade de corrente também afetou de forma acentuada as características do PS, podendo-se observar uma elevada rugosidade média e poros de menor dimensão em função do aumento da densidade de corrente. |
Area | FISMAT |
Arrangement 1 | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAS > Características ópticas e... |
Arrangement 2 | urlib.net > BDMCI > Fonds > Acervo PIBIC/PIBITI > PIBIC/PIBITI 2013 > Características ópticas e... |
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source Directory Content | there are no files |
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4. Conditions of access and use | |
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5. Allied materials | |
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6. Notes | |
Notes | Bolsa PIBIC/INPE/CNPq |
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